第 1 章

掃描探針顯微技術

（ Scanning Probe Microscopy ： SPM ）

掃描式探針顯微鏡（ scanning probe microscope, SPM ）是一種新進且發展快速的顯影技術，是在探針與樣品表面僅距離數奈米的狀況下，利用探針與樣品表面間各種不同型式的交互作用，諸如凡得瓦力、靜電力、靜磁力、表面阻力等來進行成像，自從 1982 年發展以來至今已經衍生了許多不同的應用，因而發展出原子力顯微鏡 (Atomic Force Microscope ， AFM) ，靜電力顯微鏡 (Electric Force Microscope, EFM) ，磁力顯微鏡 (Magnetic Force Microscope, MFM) 、側向力顯微鏡 (Later Force Microscope, LFM) 等。而其運用的範圍已擴及表面物理、固態物理、生物物理、生命科學、材料科學、奈米科學等學術研究，以及奈米量測、半導體檢測、超精密加工、生物按術與奈米技術等工程研究與實際運用。而且這些應用技術更是發展奈米科技不可缺少的輔助工具。 原子力顯微鏡 (Atomic Force Microscopic) 。其本身具有多項功能由於一般原子力顯微鏡的影像解析度可達到 1.0 nm 左右，在醫學、生物、材料、機械、半導體、光電、電子、化工、土木、環工、物理等領域已是非常普遍的分析工具，原子力顯微鏡由於對於研究物體之表面結構功效特別顯著，例如材料之斷口、磨損面、塗層結構、夾雜物等之觀察研究。

關鍵字 ：掃描式探針顯微鏡（ scanning probe microscope, SPM ）、奈米技術 (Nanotechnology)