第7章

側向力顯微鏡(LFM)

1.     原理

探針掃描時懸臂的偏折量可以回饋成高度變化的影像，但是掃描的同時會有摩擦力的產生，而且摩擦力會造成探針懸臂的左右扭曲(圖7-1)，所以利用偵測懸臂的扭曲量我們可以得知試片表面摩擦力的分布 ，此為接觸式原子力顯微術的應用。

圖7-1側向力顯微鏡原理[1]

2.應用

量測表面力學特性，如摩擦力，材料表面彈性係數等。如圖7-2所示。

圖7-2 材料表面摩擦力之量測[1]